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PR原則成功報酬&見積もり無料で安心。機械・装置の更新コストを削減!復刻や…
設備はまだ使用できるのに、故障してしまった基板等が手に入らず、 泣く泣く設備更新をした経験はございませんか? 当社では、故障した基板を解析・診断して修理を行い、 故障したICを交換、基板上の腐食、焼損、劣化、断線などを修復する、 基板修理サービス『ヨミガエル』を提供しています。 メーカーサポート終了品、海外メーカー製品、回路図や仕様書がない製品にも対応。 設備の故障や部品の生産...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
3系統マスフローコントローラ(オプション) ◉ 7"HMIタッチパネル ◉ 高精度ワイドレンジ真空ゲージ 10-9〜1000mbar ◉ USB端子付、PCデータロギング機能 ◉ ターボ分子ポンプ:EXT75DX(Edwards社) ◉ ロータリーポンプ:RV3/RV8(Edwards社)(*ドライポンプへの変更可能) ◉ Kタイプ熱電対(ヒーター制御用)付属...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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超高真空脱ガス炉
【特長】 ハロゲンランプ等の電極の充填、脱ガス等、真空熱処理を行う炉です。 高真空のため排気系としてはターボ分子ポンプを使用しております。 【仕様】 到達圧力:5X10-6Pa 常用圧力:X10-4Pa 最高加熱温度:2400℃ 常用加熱温度:2000℃ 高周波電源:40KW 均熱帯:30...
メーカー・取り扱い企業: アトーテック 株式会社
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高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
600mm□×600mmH/バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ+ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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小径ウェハ(4インチ)や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム&大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により6インチウェハまで対応。 水素雰囲...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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1800℃で気密タイプによる各種ガス雰囲気が出来る高性能スペック電気炉
ー ・酸素濃度分圧制御コントローラー ・専用記録計(6chマルチ入力) ・専用PC通信ソフト-WindowsXP/7/8対応(FT-1800-80Rは標準装備) ・高真空排気装置(ターボ分子ポンプ) ・ドライスクロールポンプ ・バブリング装置 ・各種サイズ専用内部セッター治具(石英/インコネル/アルミナ) 詳しくはお問合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
SiC3, TiC3コーティングヒーター採用:様々なプロセス環境に対応…
cycle)〜 ベントまでを自動シーケンス制御(標準) ・手動プロセス圧力制御(標準):手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲:φ4-φ8inch(その他サイズ可能) ・高真空対応(ターボ分子ポンプ) ◆オプション◆ ・フルオート自動プロセス運転(オプション) ・自動APC制御(オプション): -1) Upstreamコントロール:MFC供給量をPIDループ自動制御、又は -2)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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組込用小型高圧ポンプ FSBL-50
電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売…
株式会社テクノメイト