【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

後付け電動アシストユニット新製品『E-Drive Optima』

PR傾斜搬送や速度制御が可能に！高機能の電動アシストユニットE-Drive…

『E-Drive』は、最大総重量500kgの補助対応可能な高アシスト性能の 電動アシストユニットです。 今回は新シリーズのE-Drive Optimaが登場。 使い勝手はそのままに、傾斜搬送や速度制御にも対応しました。 負荷の高い重量物用台車の手押し作業でも、 当製品なら手元操作で簡単に操作 可能で、作業者の負担軽減・効率を向上させます。 　 【特長】 ■作業者の負担軽減・...

メーカー・取り扱い企業： テンテキャスター株式会社

PSA酸素ガス発生装置『ITACL-O2屋外シリーズ』

酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・インバータを内蔵しタッ…

『ITACL-O2屋外シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・ インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現した屋外設置対応の PSA酸素ガス発生装置です。 11kw～22kwのオイルフリースクロールコンプレッサーと、冷凍式ドライヤーを コンパクトに内蔵。吸着タンク・製品タンクには第二種圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA窒素ガス発生装置『INHPシリーズ』

高吐出圧力・低騒音・高さを抑えた省スペース設計！省エネ制御の窒素ガス発…

『INHPシリーズ』は、超小型低騒音・省エネ制御、タッチパネル操作の PSA窒素ガス発生装置です。 製品ガス使用量に応じて原料空気を低減させる省エネ運転特許技術と 複数のPSA ユニットを制御する台数制御省エネ運転特許技術を 活用した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOZ屋外シリーズ』

高吐出圧力、エアータンク内蔵！ITOZシリーズの屋外設置タイプシリーズ…

『ITOZ屋外シリーズ』は、O2ガスの使用量に応じて子機の運転台数を制御可能な PSA酸素ガス発生装置です。原料エアーの消費量を減らすことでCP消費電力を削減し、 大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果が得られます。 従来の2塔式PSAは2つの吸着塔が交互に吸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOZマスターシリーズ』

高吐出圧力を実現！全制御機能を持ったPSAの親機と、同能力のPSAユニ…

『ITOZマスターシリーズ』は、制御機能を備えた親機（MasterPSA）とPSAユニットだけの 子機（ExtraPSA）を複数台設置し酸素ガス必要量に応じて親機のタッチパネルで 子機の運転台数を制御できる画期的なPSAです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

【カスタマイズ可能】窒素ガス発生装置ITZHシリーズ

汎用性が高く、カスタマイズ可能なPSAです。使用方法に応じて、流量、使…

複数台制御が可能な窒素ガス発生装置です。 制御機能を備えた親機とPSAユニットだけの子機を複数台設置し、 窒素ガス必要量に応じて親機のタッチパネルで子機の運転台数を制御できる画期的なPSAです。 ボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOKシリーズ』

カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままにPLC…

『ITOKシリーズ』は、カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・ 総合制御はそのままにPLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に 進化したPSA酸素ガス発生装置です。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の 騒音を最低限に抑えました...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA窒素ガス発生装置『ITNHシリーズ』

従来機より制御を一新。使いやすく発生量、吐出圧力アップで高性能。

。 【特長】 ■発生量・吐出圧力アップ 国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサーを採用 従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ、吐出圧力も大幅アップ ■マイコン制御回路を一新 LCD表示を4行に変更し表示する情報量を大幅アップ ■特殊仕様も対応可能 高純度（99.999％）の対応や高圧力の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOSシリーズ』

簡単操作の大流量タイプ！エアータンク内蔵で、省スペース・低騒音設定

『ITOSシリーズ』は、簡単操作で大流量タイプのPSA酸素ガス発生装置です。 運転操作設定、管理はカラーディスプレイタッチパネルに表示。 従来モデルをさらに小型化。制御、メンテナンスが前面から行えるイージーアクセス 設計のほか、さらなる静音化により人がいる作業環境に設置しても気になりません。 エアータンクを内蔵していますので、直結してもコンプレッサーに負担...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOシリーズ』

オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー内蔵したシリーズです

また、変圧器を内蔵（オプション）することにより海外でも使用可能。 第2種圧力容器の適用範囲外です。 【特長】 ■純度90%以上 ■発生量2.5～16NL/min(50Hz) ■マイコン制御・LCD表示 ■低騒音高寿命設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITAC屋外シリーズ』

静音設計！省エネ運転を行える独自の制御システムを採用した窒素ガス発生装…

『ITAC屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 従来機では一定だった吸脱着のサイクルを自由に設定可能です。 製品窒素ガスの吐出流量に応じてコンプレッサーの発停をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITACL-O2中型シリーズ』

コンプレッサー・ドライヤー・インバータを内蔵し総合制御を実現！

断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所を カラータッチパネルに表示適切なサービス対応が可能です。 【特長】 ■小型軽量でコンパクトなワンパッケージ ■タッチパネル操作による総合制御パネル ■低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵 ■徹底した防音対策を施すことにより静かな室内でも使用可能 ■装置保証１年間 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITN屋外シリーズ』

高純度（99.99%）！従来機に比べ発生量20%アップした窒素ガス発生…

『ITN屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 運転中の窒素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、 純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置ITSH屋外シリーズ

同一サイズの従来機に比べ1.5倍発生量増加！ ＜従来のITSシリーズ…

＜大型装置で屋外設置を実現＞ ＜省エネ運転機能を新たに搭載＞ 日本語・英語による操作設定、運転状況の管理がタッチパネルで行え、この特長を生かして窒素ガス吐出量に応じて経済運転を行わせる制御システムを搭載しました。（特許取得済）その効果は標準圧縮機・インバーター制御圧縮機工場エアーのいずれにおいても、大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果を得ることが可能です。 ＜省スペース・低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

高純度水素ガス発生装置『H2PEMシリーズ』

ボンベ不要！省スペース設計で設置場所を選びません。

『H2PEMシリーズ』は、FIDに好適な燃焼ガスを最大14台分 供給可能な高純度水素ガス発生装置です。 先進的な純粋管理システムと制御回路により長時間の動作が可能。 運転状況を照明の色で表示、水位の確認・動作状況を簡単に確認できます。 その他、ガスクロマトグラフィーのキャリアガスにも使用可能な 「H2PDシリーズ」と「H...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOS屋外シリーズ』

従来モデルをさらに小型化し省スペース！屋外設置対応の大流量シリーズ

『ITOS屋外シリーズ』は、中型タッチパネル操作のPSA酸素ガス発生装置です。 従来モデルをさらに小型化。 制御、メンテナンスが前面から行えるイージーアクセス設計。 さらなる静音化により人がいる作業環境に設置しても気になりません。 また、エアータンクを内蔵していますので、直結しても コンプレッサーに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITZH屋外シリーズ』

エアータンク内蔵！屋外に設置しても環境騒音を気にする必要がない窒素ガス…

『ITZH屋外シリーズ』は、複数台制御が可能な窒素ガス発生装置です。 複数ユニットにて装置が構成されている為、N2ガスの使用量に応じて 子機の運転をとめることができ、無駄なエアーを消費しません。 さらに吸着時間をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITSHシリーズ』

同一サイズの従来機に比べ1.5倍発生量増加！性能アップした窒素ガス発生…

【その他の特長】 ■日本語・英語による操作設定可能 ■運転状況の管理がタッチパネルで行える ■制御システムを搭載 ■大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果を得ることが可能 ■低騒音を実現した装置形状でメンテナンスも含めてすべて前面から行える設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITACシリーズ』

コンプレッサーの発停を制御することで大幅な省エネ・CO2の削減を実現！

『ITACシリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 従来のモデルの簡単操作・総合制御はそのままに従来機より多機能に 進化しました。 日本語・英語による操作設定、運転状況の管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITAC-O2小型シリーズ』

酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・インバータを内蔵しタッ…

『ITAC-O2小型シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・ インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現したPSA酸素ガス発生装置です。 オイルフリーコンプレッサーと冷凍式ドライヤーをコンパクトに納め、 水ドレン気化装置も内蔵しています。 また、運転操作と運転状態はカラータッチパネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITACL-O2中型シリーズ』

中型オイルフリースクロールコンプレッサーと、冷凍式エアドライヤーをコン…

『ITACL-O2中型シリーズ』は、酸素ガス発生装置内にコンプレッサー・ドライヤー・ インバータを内蔵しタッチパネル操作による総合制御を実現したPSA酸素ガス発生装置です。 中型機種となります。 自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所をカラータッチパネルに 表示適切なサービス対応が可能です。 運転操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA窒素ガス発生装置『ITNシリーズ』

高純度(99.99%)、で、従来機に比べ発生量20%アップ！＜オイルフ…

ョン）することで、 海外でも使用可能できます。 【特長】 ■高純度(99.99%)で、従来機に比べ発生量20%アップ ■オイルフリーミニコンプレッサー、酸素濃度センサー内蔵 ■マイコン制御・LCD表示 ■低騒音高寿命設計 ■第二種圧力容器適用範囲外 【仕様】 ■方式PSA ■純度99～99.99％ ■発生量5.4～52L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITO屋外シリーズ』

オイルフリーミニコンプレッサー＆酸素濃度センサー内蔵屋外設置可能なモデ…

（オプション）することにより海外でも使用可能。 第2種圧力容器の適用範囲外です。 【特長】 ■屋外設置タイプ ■純度90%以上 ■発生量2.5～16Nm3/h(50Hz) ■マイコン制御・LCD表示 ■低騒音高寿命設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITNH屋外シリーズ』

従来機より制御を一新！使いやすく発生量、吐出圧力がアップした窒素ガス発…

『ITNH屋外シリーズ』は、マイコン制御オイルフリーミニコンプレッサー 内蔵の窒素ガス発生装置です。 従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ。 吐出圧力も大幅アップしています。 さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

PSA酸素ガス発生装置『ITOK屋外シリーズ』

エアー源があれば多用途に使用可能！防滴構造で屋外設置対応の酸素ガス発生…

『ITOK屋外シリーズ』は、小型タッチパネル操作屋外仕様の 酸素ガス発生装置です。 カラータッチパネルディスプレイでの簡単操作・総合制御はそのままに PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化。 パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の 騒音を最低限に抑えました。 【特長】 ■防滴構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

窒素ガス発生装置『ITKHシリーズ』

PLCによるシーケンス制御で従来機より多機能に進化した窒素ガス発生装置

えました。 また、PSA内部を2～4ユニット組み合わせることにより大流量にも対応。 窒素ガスの使用流量が少ない時は運転ユニット数を減らし無駄な エアーを使わない「流量運転モード」による台数制御を実現しました。 【特長】 ■小型軽量 ■省エネ運転など様々な設定が可能 ■3.5型QVGA高精細表示タッチパネル採用 ■低騒音設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ