空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。 ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適した とても使い勝手の良いお勧めの新製品です。 精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴 ・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁 ・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

パルス電源（真空管スイッチ方式）

安定放電が可能な真空管を利用したパルス電源です。

・高耐久性の真空管を採用している為、立上がり時間、パルス幅ともに従来の電源とは比べられない領域を実現しました。 ・連続、バーストモードと多岐に渡る出力制御が容易に可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

バイポーラパルス電源(真空管スイッチ方式)

真空管での安定放電を実現

・高耐久性の真空管採用により、高速立上がり、マイクロパルスが可能になりました。 ・両極性各々のパルス制御が可能です。 ・もちろん片極性での使用も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部