技術紹介「ウェーハ精密加工プロセスのご提案」

研磨加工技術や平面研磨技術、エッジポリッシングなどを紹介します。

スピードファムは、独創的な技術とノウハウでハードとソフト両面から「装置」と「消耗副資材」を開発してお客様の様々なニーズにお応えし、最適な加工プロセスを提案してまいります。 ウェーハエッジとノッチの鏡面加工を行うエッジポリッシングは、半導体製造工程に不可欠な加工技術です。 エッジ...

メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社

消耗副資材　製品カタログ

エッジポリッシング工程に必要な高品質で信頼性のある製品のラインアップな…

当カタログは、スピードファムが取り扱う消耗副資材をご紹介しています。 加工精度向上のため均一で微細な黒鉛が分布し、高硬度とじん性（ねばり）、 耐摩耗性を実現した「両面ラッピング定盤」や、水晶やガラス、化合物等の 薄物加工に好適な「SU...

メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社