大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

工場内のCO2排出ゼロ化へ！新製品 真空浸炭炉『Z-TKM』

PR【10月展示会出展】ガス量とCO2排出量を抑制した操業で低炭素社会の実…

【展示会出展情報】​ 『サーマルテクノロジー2024』に出展いたします。 日時：2024年10月10日(木)～11日(金)　10:00 ～17:00 会場：グランフロント大阪　北館　 ブース番号：F-02 今回の展示会ではCO2削減に対応した設備に力を入れて出展いたします。 『Z-TKM』はCO2の排出を抑え、カーボンニュートラル低炭素社会の実現に貢献する真空浸炭炉です。 独自技術の組合わせ...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

シェル＆チューブ　ストレートタイプ

シェル＆チューブ　ストレートタイプ

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです シェル＆チューブ　ストレートタイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

シェル＆チューブ　ラウンドタイプSUS製シェル

シェル＆チューブ　ラウンドタイプSUS製シェル

画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです シェル＆チューブ　ラウンドタイプ 【特徴】 ○シェル材質　ＳＵＳ ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

SUPER　PFAを伝熱管に使用しております。 高純度薬液の加熱・冷却に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

フッ素樹脂製　「熱交換器」

SUPER　PFAを伝熱管に使用、高純度薬液の加熱・冷却に最適です。

フッ素樹脂製「熱交換器」は、SUPER　PFAを伝熱管に使用、従来品よりも分子末端基の安定化や結晶化度が高いことにより、溶出フッ素イオン濃度の低減、TOC (全有機炭素量)の減少、耐透過性、耐浸透性の向上、および機械特性が改善され、さらに表面が平坦になっています。伝熱管は、性能と安全をふまえ厚みを1m mを確保し、伝熱管径はφ6m m、φ8m m、φ10 mm、φ12 mmから選択可能です。熱交換...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

投げ込みタイプ

投げ込みタイプ

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです 投げ込みタイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

タンク取付タイプ

タンク取付タイプ

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです タンク取付タイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ