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信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム
ボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計の標準排気ユニット、 STシリー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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冷却水不要なのでコンパクトな自由設計!20000時間以上の長寿命!
型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単(15~20kg...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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大気圧で連続運転が可能!乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適!
イ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ!
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設(J-PARC)などに納入!...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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