組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【実績紹介】半導体・液晶関連

開発から製作まで対応！ウエハ貼り合わせ装置やプラズマエッチング装置など…

当社が行った半導体・液晶関連の機械設計実績をご紹介します。 「ウエハ貼り合わせ装置」をはじめ、「プラズマエッチング装置 （半導体・液晶）」「コーター」「ローダ・アンローダ」など 多数の設計実績がございます。 開発から製作まで対応した物もありますので、 詳細はお気軽にお問い合わせ下さい。 【実績（一部）】 ■ウエハ貼り合わせ装置 ■ウエハ搬送装置 ■ウエハ梱包・開封装置...

メーカー・取り扱い企業： ケーイーエス