【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

材料開発DXを加速! 活用事例紹介ウェビナー開催＜無料＞

PR原子レベルのシミュレーションとマテリアルズ・インフォマティクス活用で材…

半導体や電子部品から日用品に至るまで、様々な材料開発において、原子･分子レベルでの設計が求められています。 シュレーディンガーの『Materials Science Suite』は、各種の原子・分子レベルのシミュレーションおよび機械学習により、材料開発を大幅に加速するソフトウェア・プラットフォームです。 さらに、データ駆動型アイデア創出プラットフォーム『LiveDesign』は、計算技術を活用...

メーカー・取り扱い企業： シュレーディンガー株式会社

原子スペクトル検索ツール 無料動画ＤＶＤプレゼント

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登…

ピーディーで軽快な動作でご好評いただいているAtomSpectraDBViewerが待望のバージョンアップ！ 原子名の複数価数の範囲指定や複数波長のＡＮＤ、ＯＲ検索、データ行の簡単コピー機能などご要望の多かった機能を大幅追加しました。 機能の詳細は公式サイトをご覧ください。 無料動画ＤＶＤをご希望の方は、今...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレブ

原子層堆積（ALD）装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。...設置面積：48x48cm 基板サイズ： 最大4インチ プレカーサー材料：５系統 方式：ホットウォール...

メーカー・取り扱い企業： ALDジャパン株式会社

粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。 そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法についてアドバイスをいたします。 ALD法の開発最初期から現在までノウハウの蓄積があるPICOSUNだからこそご提案できるサービスで、技術の導入検討からお客様をサポートいたします。....

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

フッ素樹脂の種類4　ETFE (4フッ化エチレン共重合体)

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さ…

FAに匹敵する電気特性、耐薬品性を保持し、改良された機械的特性と容易な加工性を兼ね備えています。 ○フッ素樹脂独自の性質は炭素一炭素間結合の重合物を基幹として 　その周りを大きい安定性あるフッ素原子で囲んでいる構造の不活性さに起因しています。 ○フッ素原子は炭素一炭素間結合に安定して結合し、化学的作業によって脱離することはないので 　熱に対して特に安定しています。 ●その他機能や特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン＋ALD）

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層…

パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はあり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

フッ素樹脂の種類3　FEP

フッ素樹脂の種類3　FEP (4フッ化エチレン6フッ化プロピレン共重合…

かなピンホールの少ない塗膜を得ることができるため、特に耐薬品性、耐食性、非粘着性に優れています。 ○フッ素樹脂独自の性質は炭素一炭素間結合の重合物を基幹として 　その周りを大きい安定性あるフッ素原子で囲んでいる構造の不活性さに起因しています。 ○フッ素原子は炭素一炭素間結合に安定して結合し、化学的作業によって脱離することはないので 　熱に対して特に安定しています。 ●その他機能や特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

フッ素樹脂の種類１　PTFE (4フッ化エチレン樹脂)

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さ…

【製品の特長】 ○コーティングの中で最も高い連続使用耐熱温度260℃を有します。 ○非粘着性、低摩擦性等にも優れていますが、耐食用には適切ではありません。 ○フッ素原子は炭素一炭素間結合に安定して結合し、化学的作業によって脱離することはないので熱に対して特に安定しています。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

フッ素樹脂の種類2　PFA

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニル…

【製品の特長】 ○PTFE塗料系と同じ連続使用耐熱温度を有します。 ○また、ピンホールの少ない塗膜を得ることができるため、高温使用の耐食用としては最高の性能を持ちます。 ○フッ素原子は炭素一炭素間結合に安定して結合し、化学的作業によって脱離することはないので熱に対して特に安定しています。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部