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逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
枚葉式で現像、全面露光(反転露光、イメージリバーサル)、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます! また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行ってい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当製品は、枚葉式で現像、前面露光(反転露光)、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動サイズ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアッ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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