シリンダヒーター

シリンダヒーター

みヒーターを採用し接液部に万一不具合が 　発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが 　ご要望に合わせ、ＪＩＳフランジ、特殊フランジに対応可能です 　お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

SSY-10010　EFEM

EFEM

サを搭載し、カセット内のウェーハを検出 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮 ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR) お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応） お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル