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高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ
高速熱処理装置(RTP/RTA装置) AccuThermo シリーズ
LED,VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池 セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置 【特徴】 ○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを 短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理 ○優れた加熱均一性 ○高度な温度制御 ○広域レンジパイロメータ(ERP)による高精...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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