フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

様々な熱源に対応！液体乾燥機「A-VCDドライヤー」

PR納入実績500台以上！熱媒油・電熱・温水・蒸気などさらに様々な熱源に対…

納入実績500台以上を誇る、液体乾燥機「CDドライヤー」に新たな熱源 （熱媒油）に対応したテスト機『A-VCDドライヤー』が完成しました。 当製品は、蒸気熱源の「CDドライヤー」と比較して、蒸気ボイラーの設置が 必要なく、圧力容器構造規格に抵触しません。 このテスト機の完成により、熱源は、熱媒油、電熱、温水、蒸気と4つの熱源を 選択でき、実際に乾燥を希望する液体（サンプル液）を用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西村鐵工所

【コラム紹介】水風呂とチラー

水風呂に欠かせないチラーについて詳しく解説します！

いてあるのを見たことあるんじゃないでしょうか？ コレ、チラー。 チラーは様々な用途に使われており、水風呂だけではなく空調や工場の生産プロセスでの冷却にも活躍しています。 どこのビルの屋上にも1台は設置されているんじゃないですかねぇ。 そしてチラーにも種類があります。 今回はざっくりと２種類をご紹介をさせていただきます！……...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユーアイ技研