フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

様々な熱源に対応！液体乾燥機「A-VCDドライヤー」

PR納入実績500台以上！熱媒油・電熱・温水・蒸気などさらに様々な熱源に対…

納入実績500台以上を誇る、液体乾燥機「CDドライヤー」に新たな熱源 （熱媒油）に対応したテスト機『A-VCDドライヤー』が完成しました。 当製品は、蒸気熱源の「CDドライヤー」と比較して、蒸気ボイラーの設置が 必要なく、圧力容器構造規格に抵触しません。 このテスト機の完成により、熱源は、熱媒油、電熱、温水、蒸気と4つの熱源を 選択でき、実際に乾燥を希望する液体（サンプル液）を用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西村鐵工所

簡易クリーンブース

設置するだけで手軽にクリーンな作業環境を実現！

従来の簡易ブースで問題となっていた乱流域の発生、換気回数の不足を解決するとともに、高いクリーンレベルを保つために必要な理想的な層流を実現します。 また、他にはない立ち作業用クリーンブースは別の作業台等を用意する必要がありません。 作業台面はパンチング板を使用し、気流制御を実現、適切な局所クリーン環境構築が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： NCC株式会社