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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR納入実績500台以上!熱媒油・電熱・温水・蒸気などさらに様々な熱源に対…
納入実績500台以上を誇る、液体乾燥機「CDドライヤー」に新たな熱源 (熱媒油)に対応したテスト機『A-VCDドライヤー』が完成しました。 当製品は、蒸気熱源の「CDドライヤー」と比較して、蒸気ボイラーの設置が 必要なく、圧力容器構造規格に抵触しません。 このテスト機の完成により、熱源は、熱媒油、電熱、温水、蒸気と4つの熱源を 選択でき、実際に乾燥を希望する液体(サンプル液)を用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社西村鐵工所
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