組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

メタルベローズポンプMB-111／MB-151

中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス…

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-601HT

高温ガス対応のダブルヘッドのシリーズ。高温タイプでは最も大流量のライン…

メント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：140.0L/min（60Hz）以上 ■到達真空度：-74.5kPaG以下 ■最高吐出圧：275.0kPa ■電源：単相AC115/230V　50/60Hzsikaku ■接続：3/8NPTメス ■重量：31.0kg ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-10／MB-21／MB-41

軽量／小型のシリーズ。サンプリング分析等に適しています。

テイメント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：2.8～11.3L/min ■到達真空度：-16.8～-50.6kPa ■最高吐出圧：27.5～68.9kPa ■電源：115V ■接続：1/8 ■重量：2.8kg ※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。 ※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMODEL PWSC 28823-7

軽量タイプのシリーズで高周波仕様です。 商用航空機に搭載実績があり…

メント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：84.9～169.8L/min ■到達真空度：-74.3～-84.4kPa ■最高吐出圧：275.8kPa ■電源：115/230V(400Hz) ■重量：5.5kg ※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。 ※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-602

ダブルヘッドタイプで最も大流量のシリーズ。並列で台数を増やすことが出来…

メント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：170.0L/min（60Hz）以上 ■到達真空度：-74.5kPaG以下 ■最高吐出圧：275.0kPaG ■電源：単相115/230V　50/60Hz ■接続：3/8NPTメス ■重量：15.4kg ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-601

ダブルヘッドタイプのシリーズ。各種用途に応じた設計対応が可能となります…

ンテイメント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：140.0L/min（60Hz）以上 ■到達真空度：-74.5kPa ■最高吐出圧：275.0kPa ■電源：単相AC115/230V　50/60Hz ■接続：3/8NPTメス ■重量：26.0kg ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

メタルベローズポンプMB-302HT

高温ガス用途でシングルヘッドのシリーズです。280kPaまで昇圧可能で…

ーズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、 　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応 【仕様】 ■最大流量：85.0L/min ■到達真空度：-74.5kPa ■最高吐出圧：275.0kPa ■電源：単相AC115/230V　50/60Hz ■接続：3/8NPTメス ■重量：17.0kg ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ