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FOOMA JAPANに実機出展!世界で選ばれ続ける真空ポンプ
PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)!まずは評価機で…
【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...
メーカー・取り扱い企業: 日本ブッシュ株式会社
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PR高圧式リングブロアーと油式回転真空ポンプの総合カタログ!
高圧式リングブロアーは吸い込む空気は螺旋軌道を描きながら圧縮室を通り、 インぺラの遠心推力により繰り返し加速される為、排気スロットで高圧が得られるようになります。 油式回転真空ポンプは精密ポンプと高い軌道トルクの直結駆動誘導電動機から成っており、 低コストと高性能により、中程度の真空を必要とする食品加工、印刷など様々な分野で使われています。 【主なラインナップ】 ■高圧式リングブロアー ・ケー...
メーカー・取り扱い企業: ユニオン産業株式会社
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
成膜系:φ3インチカソード 1元装備 :高周波電源 1源装備 :基板加熱機構標準装備 :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ 操作系:全手動 オプション機構 磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス 逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱 主ポンプ変更(ターボ分子ポンプ採用) ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…
標準仕様 4インチカソード3元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ+油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現 1m□のコンパクトな筐体に多機能を実現 上位機種の各部ユニットを搭載可能...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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