ダイレクトドライブ　FerroDrive

磁性流体シールにDCサーボモータを組み込んだダイレクトドライブ製品

磁性流体シールにDCサーボモータを組み込んだ ダイレクトドライブ製品 【特徴】 ○磁性流体シールにモータをビルトインすることで 　真空チャンバーヘの回転導入にも、ドライブ用モータ/ 　プーリー/タイミングベルトやモータドライバなどの部品を 　そろえる必要がなく、その取り付けや調整などの労力を大幅に削減 ○プーリー駆動の影響による、回転精度・損失などの課題をも一挙に解決 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

分析・計測製品　ラングミュアプローブ測定ユニット

シングルラングミュアプローブはOリング軸シール方式により、真空容器内で…

プロセス用に限定し手動操作とすることにより簡素化しました。屈曲型は関節により先端を任意に曲げられる構造とし、フランジの直進方向以外の測定を可能にしています。 関節部は真空外から操作できませんが探針部全体が回転しますので円を描けます。直線移動とあわせ広い範囲の測定が可能です。どちらも規定のストローク範囲内を直線で移動させ、測定したい部分１点１点を測定していきます。...【特徴】 ○アリオスではラ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社