組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

油圧カップリング

PR環境対応型

これらのシリーズは、ISO16028、もしくはISO16028準拠で、脱着時の油漏れが無いノンスピルタイプで、環境対応型です。世界共通のISO規格ですので、海外でも使用可能です。特に、APM(M)シリーズは、残圧300barまで脱着が可能で、サイズは3/8(APM9)から1-1/2(APM30)まであり、ネジ形状はBSP、NPTで、流量は60〜600L/min程度(圧損4bar時)で、最高圧力は2...

メーカー・取り扱い企業： TOHTO株式会社 本社

平行度チルトセンサ（オートコリメータ）

隙間に差し込むだけで、対向面の平行度の測定が可能！！

対向する面の角度確認にご使用いただけます。 チップマウンタ等のハンドラは基準面(ステージ面）と平行である必要が有ります。ダイヤルゲージや感圧紙を使い調整する手法もありますが、当社の平行度チルトセンサを使えば作業時間を大幅に短縮することができます。 使用方法は簡単、上下２方向にビームが射出されているのでステージとハンドラの隙間に本センサ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラ・オプト・システムズ 本社