無線式マルチセンサ『VWS series』

PR無線式マルチセンサでDX化！圧力・温度が1台で測定可能

『VWS series』は、機械式圧力計・温度計の目視確認をDX化する 無線式マルチセンサです。 到達距離は1km(標準)ですが、間に中継機を適宜配置することで 遠距離(最大約2km)の監視も行えます。 また、ひとつの受信機で最大100本のセンサ管理ができます。 【特長】 ■配線工事/システム構築不要 ■中継機を使用することで遠距離無線通信が可能(最大約2km) ■低消費電力、長距離通信可能...

メーカー・取り扱い企業： イーグル工業株式会社 本社

フジボウ『圧電型フレキシブルセンサ』

PRフッ素樹脂系強誘電体層が高い応答性と感度を実現。フレキシブルな上にセン…

当社は、圧電層にフッ素樹脂系強誘電体を用いた『圧電型フレキシブルセンサ』を開発しました。 圧電材料の特性により1 ms以下の応答速度を実現しており、極微小の圧力でも明瞭な電圧が発生します。 また、印刷法の採用によりパターン設計の自由度が高く、小さな隙間での設置から大面積におけるセンシングまで対応しています。 センサの駆動電力は不要。基材には樹脂フィルム、エラストマーシート、テキスタイ...

メーカー・取り扱い企業： 富士紡ホールディングス株式会社 近未来商品開発統括部 (BtoBサイト担当部門)

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

集積化ガスシステム対応圧力センサー

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

イムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能に...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社