多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は6点式坩堝を採用していますので、 　同一真空中内で6種類の成膜が可能 ○基板はφ75mmで30枚、φ100mmで20枚、φ150mmで9枚収納できる ○入射角±5°以内で成膜可能 ○真空槽内の防着シー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

シエンタオミクロン　蒸着源

様々なタイプの蒸着源をご用意しております

域：160～3300℃ ○3源蒸着源　Triple-EFM →蒸着面積：φ8.5、11、15mm →動作距離：約93±10mm ○大面積用蒸着源　EFM6 →蒸着面積：φ50mm以上 →坩堝容量：最大10ccm ○原子状水素源　EFM-H →加速電圧：0-1keV(100mA) →ビーム照射角：±6～±15°（電力に依存） ○蒸着源用電源　EVC100L/100 ○蒸着源用電...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社