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様々なタイプの蒸着源をご用意しております
域：160～3300℃ ○3源蒸着源 Triple-EFM →蒸着面積：φ8.5、11、15mm →動作距離：約93±10mm ○大面積用蒸着源 EFM6 →蒸着面積：φ50mm以上 →坩堝容量：最大10ccm ○原子状水素源 EFM-H →加速電圧：0-1keV(100mA) →ビーム照射角：±6～±15°（電力に依存） ○蒸着源用電源 EVC100L/100 ○蒸着源用電...
メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社
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