クリーンカップリングシリーズ『チェックバルブNCV型（SUS）』

PR逆圧や漏れに強いシンプル構造の流体継手！シール材質が選択可能で、配管の…

当社はカップリング・パイプクランプを幅広く製造している専門メーカーです。 ラインアップのひとつ『SUS製 チェックバルブ NCV型』は、 逆圧や漏れに強い、半導体・薬液・液晶・理化学用の製品です。 流体の流れを一定方向に保ち逆流を防止。用途に応じてネジ形状やシール材質が 選択可能で、両オネジタイプはネジ部が配管内に収まるため、省スペース化を図れます。 設計から製作まで対応でき、少...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニューマシン

小型局所 脱臭装置『Belicleen Air BA500T』

PRコンパクトなボディで揮発性有機化合物（VOC）成分を強力に除去&…

【ダブルの活性炭で揮発性有機化合物（VOC・MEK）成分を強力に除去】 揮発性有機化合物（VOC・MEK）をダブルの活性炭とHEPAフィルターにより吸着し、クリーンな空気にして排出。工場内の有害物質の吸引を防ぐだけでなく、イヤなニオイも取り除き、吐き気・頭痛・倦怠感などの健康被害から作業員を守ります。 【高額&面倒な工事いらずの簡単設置。低コストで対策可能】 ダクト工事が不要で簡単に低コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベリカ 大阪本社

核凝縮粒子カウンター（CPC）『ハンドヘルCPC』

計測データを本体に保存可能！専用ソフトウェアによる計測制御も可能

『ハンドヘルCPC』は、最小粒径15nmからの粒子を検出する携帯型凝縮粒子 カウンターです。 計測データを本体に保存できるほかに、専用ソフトウェアによる 計測制御も可能です。 エンジン排ガス、大気環境、室内環境の測定だけではなく、クリーンルーム内の 超微粒子計測にもご使用可能です。 【特長】 ■最小粒径15nmからの粒子を検出 ■計測データを本体に保存できる ■クリー...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社

【infiTOFアプリケーション事例】ガス分析

高分解能を有しリアルタイム測定が可能！窒化物半導体プロセスの研究開発に…

高分解能飛行時間型質量分析計『infiTOF-UHV』の アプリケーション事例をご紹介いたします。 名古屋大学 天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、『infiTOF-UHV』を 使用して、MOVPE反応炉の排気ライン内のNH3、およびその関連する反応物質を モニターすることで、プロセスメカニズムの解明の研究を行っています。 【分析例】 ■MOVPE反応炉のNH3およびその関...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。 また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。 プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、 さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業： カノマックスアナリティカル株式会社