実験用小型スパッタリング装置

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。 小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。 ～特徴～ ・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。 ・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブ　で仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。 ・ターゲットは３種まで取付可能です。 ・基板は自動回転機構で、設定した順にタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

『万能小型用 特殊真空吸着パット』

径が比較的小さくクッションのある特殊パットを使用！多品種で小さい品物に…

当製品は、多品種で小さい品物に対応できる機能を持つ特殊真空吸着パットです。 従来は全ての吸着パットの密着ができて初めて吸着・保持しますが、 特殊装置を備えている為に吸着していないパットは空気流入がない為に 支障なく操作できます。 また、流路にエアホールがない為にゴミ詰まりがなく、弁に球を 使用しているので、摩擦・故障が少なくメンテナンスが不要です。 【特長】 ■多孔基板と...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社サン・テクニカル