外観検査装置　(OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。 ・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェハ外観検査装置　(MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。...・他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。 ・必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。 ・本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。 ・装置上でレシピ作成が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

外観検査装置（SWL-05）

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です

・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

外観検査装置（ACI-02型）

合否判定装置

画像処理によりシリコンウェーハの表裏面傷を検出し、合否を判定する装置です。 ...・オプションで各種キズ・カケなどの検出に対応します。 ・インライン化にも対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム