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【パネルカット工事不要】制御ボックスクーラー『ヒカリラクール』
PR【旧モデルから冷却性能22%アップ!】マグネット脱着式!パネルカット工…
『ヒカリラクール』は、マグネット脱着式の制御ボックスクーラーです。 ペルチェモジュールの採用で「省スペース冷却」が可能。 緊急時のバックアップ用としてマグネット脱着式が活きます。 また、制御ボックス本体にパネルカットの必要がないため、 ミスト粉塵などがボックス内に侵入することを防げます。 【V2 MODEL】 冷却機能はアップさせ本体サイズはよりコンパクトに! 旧モデルと比較して風量は88%...
メーカー・取り扱い企業: 光精工株式会社 本社
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PR工程設計、金型設計、金型製造を簡素化!360°の設置領域内で、いかなる…
当社の『フレックスカム』は、生産ラインにおける金型内部の加工数を 増加することによりせん断金型具を簡素化します。 正確なガイドエレメントを使用しているため、横方向へのズレを伴わない 高精度で制御されたピアス加工とプレス加工を実行することが可能。 工程設計、金型設計、金型製造を簡素化するなどのメリットがあります。 【特長】 ■工程設計、金型設計、金型製造を簡素化 ■360...
メーカー・取り扱い企業: KALLER
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基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!
『加圧RTA装置』は、減圧プロセスから加圧プロセス(0.9MPaG)まで対応 することができる製品です。 加熱源はハロゲンランプ、昇温レートは最大150℃/secとなっており、 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体、MEMS、電子部品といった用途に使用できる装置で、基板表面の 高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能です。 【特長】 ■加熱プロ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450…
特許技術のラミナーフロー方式 YES PBシリーズのチャンバーは上部にガス発生プレナム、下部の吸引プレナムがついており、 加熱されたガス(通常N2)はウェハに対して平行に流れます。 平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを 除去するのに効果的です。 チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 加熱されたプロセスガスは100um径...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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ウォームアップ/クーリングダウン時間なし。高品質な連続アニール処理が可…
『プラズマアニーラー』は、PlasmaIt社製の鉄・非鉄金属製のワイヤ・ チューブ・ストリップ等の長尺物を連続でアニール処理を行う装置です。 高出力アニーリングが可能で、ウォームアップ/クーリングダウン時間は ありません。 小規模設備、低電力で、イニシャルコスト・ランニングコストが リーズナブルです。 また、メンテナンスコストも抑えられます。 【特長】 ■高出力アニーリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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トレイ搬送にも対応可能!優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現
『RTA装置』は、減圧プロセスから加圧プロセス(0.9MPaG)まで対応できる 製品です。 基板表面の高速熱酸化、結晶化、アニーリング処理等が可能。 優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現します。 半導体をはじめ、MEMSや電子部品にご利用いただけます。 【特長】 ■減圧プロセスから加圧プロセス(0.9MPaG)まで対応可能 ■基板表面の高速熱酸化、結晶化、アニーリ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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