フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

各種多芯型ハーメチックシール

PR厳しい気密・絶縁性が求められる用途に好適！試作から量産まで幅広くサポー…

『各種多芯型ハーメチックシール』は、金属とガラスで製作する 気密・絶縁性に優れたターミナル（端子）です。 気密性は1×10－9Pa・m3/s以下、 絶縁抵抗はDC500Vで1000MΩ以上に対応！ 封着・ロウ付け・鍍金加工・溶接加工のほか、 試作から量産まで用途や目的に合わせた製作が行えるのも特長です。 ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。.....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジ電科

球面軸受　SRJ 　[高精度・高剛性]

スキマゼロの転がり案内を採用することで、高精度な位置決めを実現！！

ストの球面軸受『SRJ』は、転がり案内の球面軸受です。滑り機構では摩擦抵抗と内部隙間が大きく実現できなかった高精度な位置決めが可能。 国内大手の光学メーカーをはじめ、露光機、パネルの水平出し機構で多くのメーカーに採用されています。 【特長】 ■ 高精度 　可動部分は予圧を掛けた転がり軸受け構造になっている為に摩擦抵抗が　小さくスキマゼロで高精度を実現しました。 ■ 多自由度軸受...

メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場