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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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活性炭 吸着脱臭装置
適の活性炭が選定できる ○安価 ○ユニット構成のため据付が容易 ○処理ガスが均一に活性炭を通過する構造のため高効率 ○活性炭の投入、交換の維持管理が容易 ○装置ユニットの組み合わせにより、多種類のガス処理が同時に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 太陽技研工業株式会社
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