大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【遮熱シート】で”太陽の熱”を反射し”炉の熱”を防ぐ！電気代削減

PR高性能遮熱シートを使用し、工場内の温度上昇を防ぐ特許工法【スカイ工法】…

【スカイ工法】は、断熱材では防ぎきれない「太陽からの輻射熱」を約97％カットする高性能な遮熱シートを折板屋根に取付ける工法で室内温度を最大11℃低下する効果があります。 【フィット工法】は、乾燥炉や機械から放出される熱を不燃認定の遮熱シートで大幅にカットし作業者を熱中症から守ります。 【スカイ工法】折板屋根の上から遮熱シートを施工 ◆特長 　■夏場の室内温度が約11℃低下（実験結果による最大温度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライフテック 工場･倉庫の暑さ対策には｢サーモバリア｣

コンバム　真空吸着ハンド『SGPシリーズ』

凹凸や通気性のあるワークの吸着搬送に。小型から大型、手動搬送からロボッ…

能。 ◆真空エジェクタ、及び吸着パッドにメッシュフィルタを標準装備しているため、 異物の吸込みを防止。 ◆パレッチャー本体のサイズ（ｍｍ）は、４０×４０の小型のものから、１３０×５６０の大型のものまで 　 幅広くラインナップしているため、ワークの大きさに合ったものを選択可能。 ◆真空エジェクタ内蔵か、真空源外付けか選択可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー