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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・…
弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク/レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 ・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 ・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 ・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール ・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 ・機能水を使用し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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