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簡単で親切なタッチ画面操作!上位システムからの遠隔操作が可能な自動圧力…
Dパラメータは自動的に素早く最適化。 簡単で親切なタッチ画面操作と上位システムからの遠隔操作が可能です。 成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、 脱気プロセスの定圧コントロールに適しています。 【特長】 ■電源投入で自動原点復帰 ■操作はタッチパネル、I/O、RS-232C シリアル通信に対応 ■UPS(無停電電源装置)の接続可能(停電時バルブクロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社美幸輝
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