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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
スに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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