小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【セラミックパッケージ】白金電極採用HTCC基板の用途とメリット

PR車載センサ、MEMSなど各種セラミックパッケージ向けに当社のHTCC基…

当社のHTCC基板は化学的に非常に安定で酸化しにくい白金電極を採用しており、メッキ処理不要、高温などの厳しい環境下でも使用可能なセラミック回路基板です。 また、機械的強度が高く欠けにくい、放熱性が高く熱を逃がしやすいという特長から小型パッケージ部品や医療・ヘルスケア用途に好適です。 【特長】 ・メッキ処理不要(メッキレス)で環境配慮(SDGs)およびコスト削減 ・触媒効果により性能UP...

メーカー・取り扱い企業： ニッコー株式会社 機能性セラミック商品事業部

ROBOT TECHNOLOGY JAPAN2024 出展

協働ロボットと高精度ロボットに対応するデュアルおよびセカンダリエンコー…

計測デモを実演。 ■KxI 1300/KxI 100 　コンパクトロボットアクチュエータ対応の薄型で軽量なエンコーダ ■ECI 1122/EQI 1134 　インダクティブ走査方式の小型サーボモータ用エンコーダ。取付許容範囲や使用環境が一目でわかるオペレーティングステータスデータ機能をモニタ上で体験可能。 ■KCI 1318 FOT/KBI 1335 FOT 　FOT(放熱...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

半導体・エレクトロニクス産業向けエンコーダソリューション

半導体製造に適した高精度位置決め技術のご紹介

ーダ LIC 3100: 高速アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ MC 15: RSF社製アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ ■高精度角度計測 ERP 1000: 超小型角度エンコーダ ERO 2000: インクリメンタル角度エンコーダ MCR 15: RSF社製組込み型アブソリュート角度エンコーダ ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルシールドタイプリニアエンコーダ LF 485

小型ハウジングの高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・限られた設置スペースに対応する小型ハウジング ・非常に高い繰り返し精度 ・1信号周期内の位置誤差が小さい ・鋼、鋳鉄に近い熱特性 ・測定方向に対する高い剛性 ■仕様 ・精度等級: ±3μm、±5μm ・信号周期...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルロータリエンコーダ ROD 1000シリーズ

外径φ35mm、小型形状のベアリング内蔵インクリメンタルロータリエンコ…

■特長 ・シャフト付ロータリエンコーダ(カップリング外付型) ・ケーブルによる電気的接続 ・限られた設置スペースに適した外径φ35mmの小型形状 ■仕様 ・インクリメンタル信号: TTL-C、HTLs-C、オープンコレクタ ・目盛線本数: 100～8192 ・シャフト径: φ6mm ・外径: φ35mm ・保護等級:...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

クローズド・ループを構築するアブソリュートリニアエンコーダ

クローズド・ループ位置測定で高精度加工を実現

0シリーズ 最小分解能: 1nm 最大測定長:4240mm 精度: ±3 µm/ ±5µm 対応インターフェース: EnDat 2.2/ファナック/三菱/パナソニック/シーメンス 2)小型ハウジングLC 400シリーズ 最小分解能: 1nm 最大測定長: 2040mm 精度: ±3 µm/ ±5µm 対応インターフェース: EnDat 2.2/ファナック/三菱/パナソニック/...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル組込み型角度エンコーダMSR 15/MSS 15

RSF社製－小型形状のインクリメンタル組込み型角度エンコーダ

■特長 ・ オンライン信号補正 ・ 表示機能を備えたステータスLEDを走査ヘッドに搭載 ・ 測定範囲全体において信号の状態を常時監視 ・ 大きな取付け公差により取付けが簡単 ・ 優れた耐環境性 ・ インターフェース: 1Vpp、TTL (200倍まで) ■仕様 TTR MSR 15 ・ スチール製(S)またはアルミ製(A)目盛ドラム ・ システム精度: ±10″ ・ ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルロータリエンコーダ R35i/R35iL

RENCO社製－ベアリングを内蔵しないインクリメンタルロータリエンコー…

■特長 ・小型形状のR35iと薄型形状のR35iL ・OPTO-ASIC技術による高い信号品質 ・自動芯出し可能な取付け支援機能搭載 ・検査機器PWT 101による診断 ・磁極検出位置信号(矩形波出力)U...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

シールドタイプリニアエンコーダ LC 116/LC 416

耐環境性をさらに向上させたLCシリーズ

・水滴、液体汚れ、結露などの影響を受けない最適化された走査方式 ・追加の圧縮空気フィルタシステムが不要 ・圧縮空気の必要量が削減 ・取付け作業の負担を軽減 ・標準型ハウジングLC 116と小型ハウジングLC 416 ■仕様 ・精度等級: ±3μm、±5μm ・最高走査速度: 180m/min ・最小分解能: ～1nm ・測定長: 最長4240mm (LC 116/LC ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ロータリエンコーダECI 1100/EQI 1100シリーズ

機能安全対応インダクティブエンコーダ

■特長 ・耐環境性に優れたインダクティブ走査方式 ・外径35mmの小型形状 ・軸方向取付け用フランジ ・片側中空シャフト ・IEC 61508 SIL 3までの安全アプリケーションに対応 ■仕様 ・インターフェース: EnDat ・位置値/回転数:...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ワーク計測用タッチプローブ TS 150

研削盤向けタッチプローブ

■特長 ・既存のTS 260よりさらに小型 ・接点摩耗のない光学センサを採用 ・ケーブルよる信号通信 ・UTIインターフェースによりあらゆる汎用制御装置と接続 ・限られたスペースの加工エリア用 ■仕様 ・プローブ精度(方...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル角度エンコーダ RIK 4

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタル角度エ…

■特長 ・小型形状 ・アルミ製目盛ディスクの採用による低慣性モーメントの実現 ・ディスク径や目盛線本数の種類が豊富 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛線本数: ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIK 41

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタルリニア…

■特長 ・限られた設置スペースに対応する超小型寸法 ・大きな取付け公差 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛間隔: 20μm ・推奨分解能: 5μm～0.05μm ・精度等級: ±5μm ・...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アブソリュートシールドタイプリニアエンコーダLC 400シリーズ

限られた設置スペースに対応する小型ハウジングのアブソリュートリニアエン…

■特長 ・最小分解能1nmで絶対位置情報の検出が可能 ・限られた設置スペースに対応する小型ハウジング ・取付け互換性を保ちながら高さ寸法を低減 ・各種高速シリアル通信対応 ・機能安全対応 ■仕様 ・精度等級: ±3μm、±5μm ・最高走査速度: 180m/min ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

超高精度オープンタイプリニアエンコーダ LIP 6000シリーズ

小型で限られた取付けスペースに対応する超高精度インクリメンタルリニアエ…

■特長 ・超小型形状 ・極めて小さい内挿精度 ・高速制御と長尺測定用 ・リミットスイッチとホーミング機能 ・ステータスLED搭載 ■仕様 ・信号周期: 4μm ・精度等級: ±1μm、±3μm...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アブソリュート組込み型角度エンコーダ MCR 15/MCS 15

RSF社製－小型形状のアブソリュート組込み型角度エンコーダ

■特長 ・ 表示機能を備えたステータスLEDを走査ヘッドに搭載 ・ 大きな取付け公差により取付けが簡単 ・ 優れた耐環境性 ・ 各種シリアルインターフェース対応: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川、BiSS C ■仕様 TTR MCR 15 ・ スチール製(S)またはアルミ製(A)目盛ドラム ・ システム精度: ±10″、±15″、±20″、±25″ ・ ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ MS 15シリーズ

RSF社製－オンライン信号補正機能付インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・超小型形状 ・リミットスイッチとホーミング機能 ・原点は50mm毎に選択可能 ・オンライン信号補正機能 ・ステータスLED搭載 ■仕様 ・信号周期: 40μm ・最小分解能: ～0....

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

角度エンコーダモジュール MRP 2000シリーズ

中空シャフトφ10mmの超小型形状

■特長 ・角度エンコーダと高精度ベアリングを一体化させたモジュール製品 ・高い繰り返し精度 ・優れた熱安定性 ・測定方式はアブソリュートまたはインクリメンタルを用意 ■仕様 ・システム精度: ±7" ・アキシャル許容軸荷重: 50N ・中空シャフト径: φ10mm MRP 2010(アブソリュート) ・信号周期/回転: 2048 ・繰り返し精度: 3" ・インタ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社