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フィルム連続成膜装置
ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム(任意設置) ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します(右記イメージ図参照) ■ロール幅・ロール径・巻取り速度...
メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社
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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲(1~80…
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1~80amuであり、2.0Pa以下(差動排気系不要)の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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