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→高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置/ソフトウェア/真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置/巻取式蒸着装置 ○CVD装置/イオン注入装置 ○アッシング装置/自然酸化膜除去装置 エッチング装置/巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉/...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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