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SDR型巻取式スパッタリング装置(RtoRタイプスパッタ装置)
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
装置形態:巻取式マグネトロンスパッタリング装置 基板寸法:最大幅1000mmまで対応 カソード数:最大4元 膜種:金属・磁性膜・反応性酸化膜 オプション機構: プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒー...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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プ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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