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プラズマFIB装置を用いて断面を観察!広く破壊されている様子が確認され…
RC-IGBT(Reverse-Conducting IGBT)を用いた、故障解析事例をご紹介します。 今回はシステムレベルの規格として広く用いられるIEC61000-4-2に倣って、 人体からの放電を模擬したESD破壊の再現実験を行いました。 チップ表面の観察後に、ロックイン発熱解析を行い、微小な故障箇所を特定。 プラズマFIB装置を用いて断面を観察した結果、表面のクレーター...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クオルテック
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