オージェ分光分析

固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。

表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li～Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。 ...真空下で試料に電子線を照射し、励起した電子（オージェ電子）の分析を行います。オージェ電子は元素固有の運動エネルギーを有しているため、オージェ電子のエネルギーを測定することで、元素の種類を特定できます。オージェ電子は数ｎｍの深...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ