- 製品・サービス
26件 - メーカー・取り扱い企業
企業
3件 - カタログ
40件
-
-
-
微小領域のXRD測定が可能
照射X線をΦ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。 プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所（１）～（3）全てでCuとBaSO4が検出され、電極である測定箇所（１）ではAu由来のピークが検出されました。XRFによる測定結果とよく一致しています。 このように組成や結晶性の異なる数百μmの領域を狙って結晶構造を同定す...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
最小5um以上あれば異物のIRデータが取得できます。
■サービス概要 １．顕微ATR法 約5um以上あれば異物のIRデータ取得可能 ２．面分布像 有機物の面内分布の観察が可能 ３．時間変化 秒単位で変化する有機物の状態測定が可能...■特徴 １．測定方法 イメージでデータ収集し、ピクセル単位でスペクトル表示 ２．測定領域 透過法/反射法 175um、ATR法/35um ３．空間分解能（...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス
-
-
-
-
NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解…
NBD法では電子線が試料中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
微小領域の分布評価が可能です
回路の微細化にともない微小化する層間接続ビアの設計開発では、充填の良好性を把握することが求められます。TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、出来ばえ評価に有効な手段です。 本資料では、Si基材に設けられた0.5μmφ程度のビアに、Cuを充填したサンプルを分析した事例を示します。正イオン分析結果より、CuおよびSiの分布が確認...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられている。この度、東レリサーチセンターに導入した新規RBS装置では、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となる。また、入射イオン種の増加、入射イオンの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
-
-
-
-
300mmウェハをそのまま測定できます
TOF-SIMSには有機物、無機物を同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できる、300mmウェハのまま評価可能という特徴があり、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Si表面の有機汚染の除去効果の分析事例をご紹介します。XPSでアミン系有機物は極微量であることが確認されている試料について、TOF-SIMS分析を行いました。微小領域においても、このように極微量の成分まで測定可能です...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます
市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました（測定領域：75μｍ角、深さ：約1.5μm）。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。 注） イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
特性X線を検出！微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析…
『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に 取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、 試料や異物の元素情報を得る手法です。 物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、 特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成。 この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることがで...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス
-
-
-
-
微小領域を狙った測定が可能
製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。 本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
AFMでは極めて微小な表面形態（凹凸）を捉えて測⾧することが可能です
AFM走査型プローブ顕微鏡は、「探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う」装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性や絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 この分析装置を使い「めっき加工したコネクタ接点部品の表面処理」の調査を行...
メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社
-
-
-
-
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 最先端の二次イオン質量分析（SIMS）装置であるNanoSIMS 50Lは、プローブ径約50 nmのイオンビームと、透過率の高い質量分析系の併用により、従来のSIMSに比べて約2桁高い空間分解能でイメージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．分析装置の概要 ３．毛髪断面の分析事例 ４．...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
-
-
-
-
AES：オージェ電子分光法
AES分析では、微小異物の最表面の元素組成評価を行うことが可能なため、微小領域における異物分析に有用です。しかし、電子線等のダメージの影響により異物が変化したり消失してしまう可能性があります。 特に、ハロゲン元素等を含む場合は、その影響を強く受けてしまうことがあり注意が必要です。SEM観察時やAES測定時に異物が消失してしまった事例として、Siウエハ上のNaCl粒子について、AES分析を行った結...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定
撥水処理における撥水面の状態は、フッ素系化合物が島状（アイランド状）に分布しているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うこと で、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量の評価
AESは、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。 ・固体材料の表面（深さ数nm）の定性・定量が可能 ・微小領域（数十nm～サブミクロン程度）の定性・定量が可能 ・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能 ・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
-
球体形状試料の評価事例
AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。 またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析もでき、多機能な成分分…
一般財団法人東海技術センターは『電子顕微鏡による形態観察・成分分析』を 承っております。 手間と時間のかかる前処理なしで観察ができるため、観察までの時間短縮と 観察後の成分分析の評価がしやすくなりました。 また、形態観察と同時に異なる組成の分布状態がわかる組成観察も可能。 試料中の測定したい2点間の距離計測もできます。 【特長】 ■手間と時間のかかる前処理なしで観察ができ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人東海技術センター
-
-
-
-
二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…
イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 ・高感度（ppb～ppm） ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで） ・標準試料を用いて定量分析が可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
-
プラズマFIB装置を用いて断面を観察！広く破壊されている様子が確認され…
RC-IGBT（Reverse-Conducting IGBT）を用いた、故障解析事例をご紹介します。 今回はシステムレベルの規格として広く用いられるIEC61000-4-2に倣って、 人体からの放電を模擬したESD破壊の再現実験を行いました。 チップ表面の観察後に、ロックイン発熱解析を行い、微小な故障箇所を特定。 プラズマFIB装置を用いて断面を観察した結果、表面のクレーター...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック
-
-
-
-
-
TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン（TiO2）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています（図1, 2...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
設計寸法通りの形状か測定ができ、健全品と不具合品の比較計測も可能！
当社は、3Dマイクロスコープ等を用いて切断せずに形状計測ができます。 レンズ部品のうねり計測では、広範囲の領域からバリという極小部の 高さの計測、バリの有無やバリ高さが許容差内に納まっているか確認。 コネクタピンの高さ計測では図面指示寸法通りに製作されているか確認、 台形ネジのネジ山角度計測では図面指示寸法通りに製作されているか 確認ができます。 【特長】 ■設計寸法通り...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アサヒテクノリサーチ
-
-
-
-
微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能
二次イオン質量分析法（SIMS）を用いて、市販ＴＦＴ液晶ディスプレイのデータ信号配線とゲート電極配線の交差部（4μm×10μm）を、基板側から分析（SSDP-SIMS）した例を示します。 基板側から測定（SSDP-SIMS）を行うことにより、表面側の高濃度層や金属膜などの影響がないデータの提供が可能となります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
【AFM/AESオージェ電子分光装置】めっき部品の加熱影響評価
AFM走査型プローブ顕微鏡/AESオージェ電子分光装置によりめっき部品…
AFM走査型プローブ顕微鏡とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 AESオージェ電子分光装置では、材料の極表層（~5nm程度）の元素分析や深さ方向の...
メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社
-
-
-
-
試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る
Raman（ラマン分光法）は、入射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象（ラマン効果）を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。 ・試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得ることが可能 ・レーザー光を用いることにより、FT-IRよりも微小領域の測定に対応可能（ビーム径約1μｍ）...励起光ν0に対して振動エネルギーに対応する波数νの異なった光が散乱さ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
-
固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。
表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li～Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。 ...真空下で試料に電子線を照射し、励起した電子（オージェ電子）の分析を行います。オージェ電子は元素固有の運動エネルギーを有しているため、オージェ電子のエネルギーを測定することで、元素の種類を特定できます。オージェ電子は数ｎｍの深...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ
-
-
-
-
【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能
TOF-SIMSは、着目箇所を局所的に分析して得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。 本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。 層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。...詳しいデー...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。.....
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
- 表示件数
- 45件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
