膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『MEシリーズ』

微小領域測定、透明基板対応など、様々な膜厚分布測定に対応！高速マッピン…

『MEシリーズ』は、1nm以下の膜厚変化も高速・高密度に面測定が可能な 膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータです。 φ8“ウェハまで全面測定可能。微小領域測定、透明基板対応など、様々な 膜厚分布測定に対応します。 独自開発のPCAセンサーにより、瞬時測定や移動中のサンプルの測定が可能。 より短時間により高精細な膜厚分布情報が得られます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトニックラティス

顕微分光膜厚計「OPTMシリーズ」※諦めていた膜厚測定を実現

これまでの膜厚計のお悩みをこれ1台で解決。1ポイント1秒測定＆測定エリ…

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 【これまでの膜厚計のお悩み】 ■接触式／非接触式どちらでも測定が難しい素材があ...

メーカー・取り扱い企業： 大塚電子株式会社