ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

回転式マグネトロン用コンポーネント『マグネットバー』

最適化された冷却コンセプト！逆マグネット配列（インバート）も提供可能

さに焦点を当てています。 さまざまなエンドブロックにも対応。当製品は幅広い範囲の磁場強度と長さで お求めになれます。また品質管理のため、社内設備で検査を実施しています。 【特長】 ■成膜均一性の最適化 ■高いターゲット利用効率 ■全基板幅にわたり、均一な薄膜特性 ■プロセス電圧の低減 ■最大プロセス電力（ターゲット材料とボンディングにより制限） ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社