フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

【測定分野】　薄膜　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。構造部材用耐熱コーティングの評価が可能

サーマルマイクロスコープ ＴＭ３は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

【測定分野】　熱物性分布　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。ＳｉＣ多結晶の熱伝導率分布を測定可能

サーマルマイクロスコープ ＴＭ３は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。ＳｉＣ多結晶（セラミックス）の熱伝導率分布を測定可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

【測定分野】　微小サイズ　【TM3】

薄膜と微小領域の熱物性測定に。微小サイズ粒子も自在に測定可能

サーマルマイクロスコープ ＴＭ３は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。従来困難だった微小サイズ粒子も自在に測定可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

太陽電池EL画像測定装置　PVX330

太陽電池の潜在欠陥を鮮明に写しだす業界実質標準、EL 画像 検査装置P…

精細カメラを搭載し、業界初のオートフォーカス機能により簡単操作で鮮明なEL画像を取得、マイクロクラックや電極不良個所の特定や、モジュールでの不良セルの選別にご活用いただけます。 薄膜太陽電池では、成膜不良やスクライブ電極の不良の検出・位置特定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

コーティング　光学フィルター『高性能光学薄膜フィルター』

デジタルカメラ、各種検査装置などに最適な高性能光学薄膜フィルター

【特徴】 ○紫外域～遠赤外域の幅広い波長帯域に対応可能 ○外観欠陥10 µmに対応 ○イオンアシスト蒸着、イオンビームスパッタによる 　高品位多層膜の成膜 【光学特性】 ○ノッチフィルター →通常の設計では出てしまう透過帯のRippleをなくした ○バンドパスフィルター →狭いバンドパスで広帯域をカット ○AOI = 45° Non-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニデック コート事業部

太陽電池EL画像測定装置　PVX330

太陽電池の潜在欠陥を鮮明に写しだす業界実質標準、EL 画像 検査装置P…

精細カメラを搭載し、業界初のオートフォーカス機能により簡単操作で鮮明なEL画像を取得、マイクロクラックや電極不良個所の特定や、モジュールでの不良セルの選別にご活用いただけます。 薄膜太陽電池では、成膜不良やスクライブ電極の不良の検出・位置特定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス