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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
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書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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電磁スキャナー式(特許取得済み) ダメージレスで非破壊で測定可能 …
【ソフトアプリケーション】 ・微細線幅測定 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 ・石英ガラス表面検査 ・マスクパターン測定 ・研磨、CMP後の表面検査評価 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察 ・フィルム表面検査 ・高精度金型の表面解析 ・光学部品、精密部品の評価...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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