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実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタ…
レンタル専用スリットコーター! 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):200mm□×0.4~1.1mmt 対象ワーク:ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間:1ヶ月~6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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