小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

大型ガラス基板の検査に　大型パネル顕微鏡

大型ガラス基板を検査する顕微鏡で移動量はデジタルカウンタに表示。手動型…

大型基板を検査する検査用顕微鏡です。 大型基板をステージに載せて移動して顕微鏡検査が出来ます。 移動量をデジタルカウンタに表示して、線幅や位置測定ができます。 手動型はハーフナット式でフリー移動とハンドル微動式です。 電動型はステッピング駆動がリモートでできます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特徴】 ○大型基板の反りなどいくつかの問題点を考慮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

大型FPDパネル基板・大型ガラス基板の検査用　小型顕微鏡

FPDパネル検査を1μmずつ読みとる目視検査とモニター検査ができ検査機…

ＦＰＤパネル検査用の顕微鏡です。 ガラスステージ上にパネルを載せて手元ハンドルでＸＹにスライド移動と微動ハンドルで位置決めできます。 デジタルカウンタで移動量を１μmで読取、目視検査とモニター検査ができ検査画像のファイルもできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...【特長】 ○大型基板の反りなどいくつかの問題点を考慮してある、顕微鏡検査機です。 ○モニター検査と目視...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック