FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【課題解決事例】メッキ槽の洗浄作業

粉塵、高熱に暴露されずに作業が実施できるようになった事例のご紹介

当社で承った、メンテ作業時のみメッキ槽の炉蓋上に移動出来るフードを 設置した事例をご紹介いたします。 炉内のメンテ（焼き入れ）作業時に炉蓋を開放するため、大量の粉塵と高熱が 発生しており、集塵設備は作業場上部に設置された全体換気設備のみであったため、 作業者が粉塵と高熱に暴露されながらの作業になっているという問題がありました。 フードの設置後は、粉塵、高熱に暴露されずに作業が実施...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デュコル