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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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光学顕微鏡より遥かに高分解能!ミクロでの表面観察や表面凹凸の確認に適し…
「卓上走査型電子顕微鏡」は、真空中に細く絞った電子線で試料表面を 走査し、試料から出てくる情報を検出して拡大表示させる顕微鏡です。 光学顕微鏡より遥かに高分解能で、ミクロでの表面観察や表面凹凸の 確認に好適。 また、表面観察のほかに、X線検出器を用いたEDS元素分析により、 試料表面にどんな元素がどの程度含まれているかを確認することが可能です。 【特長】 ■加工が難しい試...
メーカー・取り扱い企業: 関西電力送配電株式会社 技術試験センター
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