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小型電子部品(面実装タイプ)の側面電極形成をドライ化。PVD(イオンプ…
面実装タイプの受動電子部品(抵抗器・コンデンサ)などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Sn、Ni等の金属膜をハイスループットで形成。(酸化膜形成にも対...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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量産対応バッチタイプスパッタリング装置 (STH10311型)
φ410基板×4枚の自公転基板台を4枚備えたバッチ型のスパッタリング装…
用途に最適なデータロギングシステムや装置制御や管理を容易にする制御インターフェースソフトなど量産用装置に必須な細かな配慮が組み込まれています。 300ウェハに代表される大型基板の施策・少量生産に抵抗器やセンサーなどの小型電子部品の大量生産に、品質とスループットを両立いたします。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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