塔内部品　高性能型『MCディストリビューター』

PRドリップポイント数（1000～2000個／m2）を実現！【実際の塔内映…

『MCディストリビューター』は、少量から大量の広範囲な液量変化に対して 分配効果を維持するために開発されたノズルオーバーフロー型の塔内部品です。 上方にノズルを有し、下方に液体分散板を備えており、ノズルが流出した液体は パイプ上部で拡がり、さらに液体分散板により拡散されて充填物の上に 分配されます。 従来の下方流出ノズル方式による分配器に比較すると、 数倍の分配効果を発揮します...

メーカー・取り扱い企業： マツイマシン株式会社 大阪本社

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板の同時処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行