加工技術『GTMS／ガラス加工』

酸化膜拡散層を作り出し、化学的に結合させることで高気密・高信頼性を実現

当社の加工技術『GTMS／ガラス加工』をご紹介いたします。 「GTMS技術」では、封着合金の酸化膜をガラス側へ拡散させて、 金属とガラスをつなぐ層（酸化膜拡散層）を作り出し、化学的に 結合させることで高気密・高信頼性を実現しています。 また、一つひとつ手作業で作り上げる「ガラス加工技術」や膨張係数差のある 金属とガラスの接合を実現する「段シール加工技術」も提供しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 山村フォトニクス株式会社

ガス抜きブロック『アスベント LVシリーズ』

成形時に発生するガスを逃がす！使える自由度が高く、メンテナンスが楽にで…

『アスベント LVシリーズ』は、溝加工した平板を拡散接合で 積層したガス抜きブロックです。 材質はSUS430を使用。他の鉄系、SUS系などでも可能。 PL面はエアーベントで対策可能ですが、キャビ側での対策に有効です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティーズトラストコーポレーション

『高純度石英ガラスの加工技術』『多孔質構造体の製造技術』

石英ガラス加工は微細加工から1ｍクラスの大型製品まで対応可能。 多孔…

当社では、高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに、 半導体製造プロセスや理化学用途向けの石英ガラス製品の加工を行っています。 1ｍクラスの大きな製品や拡散接合技術により製品内部に複雑な溝・ 穴を有した製品等を製作することも可能。 石英ガラスは高純度で、耐熱性（1000℃対応）、耐薬品性のほか、 優れた光透過性を備えています。 また、当社では...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社

拡散照明素子『フライアイレンズ』

均一光として照射面へ出力！様々な素子組み合わせにより照射ムラの課題を解…

『フライアイレンズ』は、同じ単レンズを縦横に配列した結像素子です。 ファイバーレーザーから出力された光を当製品を通すことにより多点光源と 同じ状況を作り出すことができ、均一光としての照射が可能となります。 また、個々のレンズを研磨加工した後に独自の技術で接合しております。 紫外領域でも高い透過率と耐久性のあるコーティングも対応可能です。 主に半導体露光装置の照明系に使用されて...

メーカー・取り扱い企業： カドミ光学工業株式会社