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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR<液体の濃度変化にタイムリーに対応>設置工事不要のため【現場分析/即時…
『MH-6000A』は、液体の濃度変化をタイムリーに管理したい場合や、 現場分析する際にお勧めのポータブル元素分析装置です。 ◇活用現場事例◇ ◎非鉄金属精錬 ◎金属表面処理 ◎飲料製造 ◎水耕栽培 ◎発酵・培養 etc... 小型で工事不要のため、分析ニーズのある場所に配置が可能。 即時分析ができ、DX化に寄与。 また、波長帯と分解能の調整もでき、アルカリ溶液の測定も可能です。 ガス配管...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マイクロエミッション
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…
ルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やCVD装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決!...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1~2桁低くできます。 ●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。 ●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。他方式ではトラブルの基となる様々なガスを水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは水でシールすることで凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気!多くの実績を誇る油拡散ポンプ!
『SD、SDBシリーズ』は、冶金・素材関係で非常に多くの実績を誇る 油拡散ポンプです。 長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。 薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得ています。 また、水冷バッフルや液体窒素トラップなど周辺部品も充実しており安定した 高真空性能を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポン…
富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージガ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)
耐食性に優れるステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプ
ルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。 ◆水封式真空ポンプですので凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。また空気エゼクタとの組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ステンレス製(SUS316相当)の水封式真空ポンプで腐食性ガスへ対応
用途などで数多くの実績があります。 ◆接ガス部は耐食性材質としてグレードの高いSCS14(SUS316)のステンレスのため、腐食性ガスの吸引も可能です。 ◆粉体・凝縮性ガス・引火性ガスの排気にも最適です。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆汎用モータ採用のため、防爆型も取付け可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ
使用実績が豊富で耐久性に優れる油回転真空ポンプです。 ◆安定して低い圧力が得られます。 ◆シンプルな構造で故障が少ないです。 ◆標準装備のガスバラスト弁により、微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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