油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』神港精機

長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気！多くの実績を誇る油拡散ポンプ！

『SD、SDBシリーズ』は、冶金・素材関係で非常に多くの実績を誇る
油拡散ポンプです。

長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。

薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得ています。
また、水冷バッフルや液体窒素トラップなど周辺部品も充実しており安定した
高真空性能を実現します。

【特長】
■排気速度が大きい
■油蒸気の逆流が少ない
■ヒーターの寿命が長い（アルミ鋳込みヒーター使用）
■高い許容背圧が得られる（サイドエゼクタ形）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』

【ラインアップ（抜粋）】
■標準形油拡散ポンプ
・SD-10
・SD-14
・SD-16
・SD-22

■サイドエゼクタ形油拡散ポンプ
・SD-4H
・SD-6H
・SD-8H

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取扱企業油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器